фотолитография
21фотолитография с применением сухого плёночного резиста — sausoji plėvelinė fotolitografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. dry film photolithography vok. Trockenfilmfotolithografie, f rus. фотолитография с применением сухого плёночного резиста, f pranc. photolithographie avec… …
22Фотолитография — 1) специальный фотография, процесс на Фоторезистах, отличающийся высокой разрешающей способностью (См. Разрешающая способность). Цель Ф. – создать в слое фоторезиста «окна» заданной конфигурации для доступа травителя к расположенной под… …
23Фотолитография — см. Фотомеханические способы печатания …
24Фотолитография — ж. 1. Литография, основанная на применении фотографии [фотография I 1.]: рисунок или изображение с негатива наносится на литографический камень или на металлическую пластинку, покрытые светочувствительным слоем. 2. Оттиск с литографической… …
25фотолитография — фотолитография, фотолитографии, фотолитографии, фотолитографий, фотолитографии, фотолитографиям, фотолитографию, фотолитографии, фотолитографией, фотолитографиею, фотолитографиями, фотолитографии, фотолитографиях (Источник: «Полная… …
26ФОТОЛИТОГРАФИЯ — способ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Ф. обычно включает: 1) нанесение фоторезиста на металл, диэлектрик или полупроводник методами центрифугирования, напыления или возгонки; 2) сушку фоторезиста… …
27ФОТОЛИТОГРАФИЯ — (от фото... и литография) 1) Ф. в полиграфии фотомеханич. способ изготовления формы плоской прямой печати на камне, металлич. пластине, а также оттиск с такой формы. Методы Ф. применяют и в технологии изготовления миниатюрных электронных… …
28ФОТОЛИТОГРАФИЯ — в планарной технологии, способ образования на поверхности полупроводн. кристалла (подложки) маски с окнами определ. форм и размеров для последующего формирования элементов интегральных схем и др. электронных приборов. Осуществляется… …
29фотолитография — фотолитогр афия, и …
30фотолитография — (1 ж), Р., Д., Пр. фотолитогра/фии …